10 millioner til ny kontrol af fremtidens mikrochips
Mens udviklingen i hastig fart gør halvleder-mikrochips både mindre og kraftigere, stiger kravene til kvaliteten af fabrikationsprocessen og især den efterfølgende kontrol af chippen.
Nu investerer Innovationsfonden 10 millioner kroner i et nyt forskningsprojekt, der skal udvikle en revolutionerende ny såkaldt supercontinuum-teknologi.
Chippen kontrolleres via kraftigt laserlys. Hurtigere chips kræver flere og mindre komponenter på chippen, og kontrollen af de mindre komponenter forudsætter lys med kortere bølgelængde. Det kræver ny teknologi, da standardmaterialer degenererer, når de udsættes for sådant lys over længere tid.
I det nye forskningsprojekt under navnet UVSUPER, går forskere og virksomheder sammen om at udvikle den ny teknologi. Teknologien vil danne ultraviolet laserlys, der ligesom solen vil dække et bredt område af ultraviolette farver, men være en million gange kraftigere end solen og derved være ideel for inspektion af de mindste detaljer på en chip. Til gavn for dansk forskning og industri
- Med dette samarbejde vil NKT Photonics kunne være med til at udvikle en ny spændende teknologi, som kan åbne vejen for applikationer inden for halvlederindustrien, der er svært tilgængelige med vores nuværende løsninger. Derudover er projektet med til at styrke vores bånd til førende danske R&D miljøer, siger Principal Research Scientist, Peter M. Moselund, fra NKT Photonics.
- Den ultraviolette laser udviklet i UVSUPER vil gøre det muligt for Dansk Fundamental Metrologi A/S at tilbyde højkvalitets kontrol og udmåling af endnu mindre strukturer end hidtil og derved endnu bedre kunne understøtte den voksende del af dansk industri, der gør brug af nanostrukturer inden for bl.a. halvlederfabrikation, selv-rensende overflader, anti-refleks overflader og tyndfilm med strukturerede farver, siger teamleder Jan Hald fra DFM.
De involverede parter forventer at kunne udvikle laseren i løbet af de næste tre års tætte samarbejde.
- Det er, når viden og forskning kombineres med praksis og kunnen, at vi udnytter samarbejdet mellem universiteter og industri optimalt, siger professor Ole Bang fra DTU Fotonik, som er projektleder i UVSUPER.
