DTU skal udvikle robot til halvlederindustrien
I samarbejde med blandt andet tyske forskere har Institut for Mikro- og Nanoteknologi på DTU opfundet en ny robot, der forventes at kunne bruges i blandt andet halvlederindustrien.
Af Henrik Eilers
Det er lykkedes forskerne at montere kulstof-nanofibre på de elektron-mikroskoper, som bruges til kvalitetskontrol hos chip-producenter. Fibrene fungerer som en mikroskopisk robotarm, der fx kan kontrollere dybden og ruheden af riller i chips mere præcist, end det er tilfældet i dag.
Indtil videre samarbejder forskerne ikke med industrielle samarbejdspartnere, men finansieres i stedet via EU-midler, som udløber i 2009.
